Change search
CiteExportLink to record
Permanent link

Direct link
Cite
Citation style
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Other style
More styles
Language
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Other locale
More languages
Output format
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Structural characterization of arc evaporated TiAlN/TiN multilayers
2008 (English)Independent thesis Advanced level (professional degree), 20 credits / 30 HE creditsStudent thesis
Abstract [sv]

Tunnfilm med multilagrad struktur av TiN och Ti0.34Al0.66N har undersökts. Beläggningarna gjordes med två rotationshastigheter, 1 och 5 varv per minut vilket resulterade olika lagertjocklekar. Proven värmebehandlades i 900°C i 2h med konstant argonflöde. Mikrostrukturen undersöktes med transmissionselektronmikroskop (TEM), sveptransmissionselektronmikroskop (STEM) och röntgendiffraktion (XRD). Restspänningar i proven analyserades med röntgendiffraktionsmetoden sin2ψ. Kemiska sammansättningen undersöktes med XRD och energy dispersive spectroscopy (EDS). Resultaten från de obehandlade proven av båda rotationshastigheterna visade homogena att lager av TiN och Ti0.34Al0.66N. Filmen med tjockare lager (1rpm) visade högre restspänningsvärden än provet med tunnare lager. Efter värmebehandling visar STEM bilderna och EDS mappen från 1rpm provet en tydlig segregation av Al i form av sfäriska områden med en storlek på ~7nm. Detta syns även i röntgendiffraktionsresultaten som uppvisar en ökning av TiN och minskning av Ti0.34Al0.66N och dessutom nya AlN toppar. Efter värmebehandling har det även skett en spänningsrelaxation i filmerna.

Place, publisher, year, edition, pages
2008.
Keyword [en]
Technology, Vändskärande verktyg, Tunnfilmsfysik
Keyword [sv]
Teknik
Identifiers
URN: urn:nbn:se:ltu:diva-48612ISRN: LTU-EX--08/069--SELocal ID: 60c64b8c-3b57-4410-aa26-edb48fa59907OAI: oai:DiVA.org:ltu-48612DiVA, id: diva2:1021955
Subject / course
Student thesis, at least 30 credits
Educational program
Space Engineering, master's level
Examiners
Note
Validerat; 20101217 (root)Available from: 2016-10-04 Created: 2016-10-04Bibliographically approved

Open Access in DiVA

fulltext(2599 kB)155 downloads
File information
File name FULLTEXT01.pdfFile size 2599 kBChecksum SHA-512
8db1673e3f6ede3d4c4d975f6beca87e69e0d238a5b7fdcff091adea138f249e59867f7318bb8ca2f5062b6a076d65c51dd3ccf966ad4acfa87294125892c941
Type fulltextMimetype application/pdf

Search outside of DiVA

GoogleGoogle Scholar
Total: 155 downloads
The number of downloads is the sum of all downloads of full texts. It may include eg previous versions that are now no longer available

urn-nbn

Altmetric score

urn-nbn
Total: 40 hits
CiteExportLink to record
Permanent link

Direct link
Cite
Citation style
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Other style
More styles
Language
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Other locale
More languages
Output format
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf