Endre søk
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
LTCC, new packaging approach for toxic gas and particle detection
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tillämpad sensorvetenskap. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten. Microelectronics and Material Physics Laboratories, University of Oulu, Finland.ORCID-id: 0000-0002-2817-3574
Microelectronics and Material Physics Laboratories, University of Oulu, Finland.
Microelectronics and Material Physics Laboratories, University of Oulu, Finland.
Linköpings universitet, Institutionen för fysik, kemi och biologi, Tillämpad sensorvetenskap. Linköpings universitet, Tekniska fakulteten.
Vise andre og tillknytning
2015 (engelsk)Inngår i: Procedia Engineering, ISSN 1877-7058, E-ISSN 1877-7058, Vol. 120, s. 484-487Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
Abstract [en]

Packaging of chemical sensors is still an area, which is not much explored. Low temperature co-fired ceramic, LTCC, packaging offers large advantages in terms of 3D design, integration of advanced functionality and fast processing. SiC based FET gas sensors are possible to integrate directly in the LTCC co-firing process at 850 °C, whereby both high temperature and other advanced applications like ultra-low detection of toxic gases are greatly improved. The LTCC packaging is also used for development of particle detectors as well as packaging for an electrical method to detect toxic effect on cells by particles.

sted, utgiver, år, opplag, sider
Elsevier, 2015. Vol. 120, s. 484-487
Emneord [en]
LTCC technology;SiC-FET gas sensors;particle sensors;cell-clinic
HSV kategori
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:liu:diva-124050DOI: 10.1016/j.proeng.2015.08.677ISI: 000380499300110OAI: oai:DiVA.org:liu-124050DiVA, id: diva2:895397
Tilgjengelig fra: 2016-01-18 Laget: 2016-01-18 Sist oppdatert: 2017-11-30bibliografisk kontrollert

Open Access i DiVA

fulltext(471 kB)244 nedlastinger
Filinformasjon
Fil FULLTEXT01.pdfFilstørrelse 471 kBChecksum SHA-512
fa343c452eeb450fed17c7b845bcb3c7b089449a8f888926b1e21ed38669dad79bdcbb0502bf4a90fb36b7dc5f78a562069707faab557f506a9d5ebfcb141c3a
Type fulltextMimetype application/pdf

Andre lenker

Forlagets fulltekst

Søk i DiVA

Av forfatter/redaktør
Lloyd Spetz, AnitaPuglisi, DonatellaAndersson, Mike
Av organisasjonen
I samme tidsskrift
Procedia Engineering

Søk utenfor DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 244 nedlastinger
Antall nedlastinger er summen av alle nedlastinger av alle fulltekster. Det kan for eksempel være tidligere versjoner som er ikke lenger tilgjengelige

doi
urn-nbn

Altmetric

doi
urn-nbn
Totalt: 322 treff
RefereraExporteraLink to record
Permanent link

Direct link
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annet format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf