Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Optimization of Active Vibration Control of a Laser Pattern Generator in Micro Lithography
Micronic Laser Systems AB, Sweden .
KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Maskinkonstruktion (Inst.), Mekatronik.
KTH, Skolan för industriell teknik och management (ITM), Maskinkonstruktion (Inst.), Mekatronik.
2010 (Engelska)Ingår i: Proceedings of the 10th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2010, euspen , 2010, Vol. 1, s. 491-494Konferensbidrag, Publicerat paper (Refereegranskat)
Abstract [en]

The extreme precision requirements in semiconductor manufacturing drive the need for an active vibration isolation system in a laser pattern generator. Optimization has been performed and evaluated in a model using a high level programming tool [1]. The areas of optimization were 1) Decoupling strategies for decentralized control and 2) Improved feed forward control. Only a limited description of the model itself is given here. More about the model is presented in [2] and [3].

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
euspen , 2010. Vol. 1, s. 491-494
Nyckelord [en]
Precision engineering, Semiconductor device manufacture, Semiconductor lasers, Active vibration controls, Active vibration isolation systems, High-level programming, Laser pattern generator, Semiconductor manufacturing
Nationell ämneskategori
Annan maskinteknik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:kth:diva-91386Scopus ID: 2-s2.0-84911428079ISBN: 978-095530828-4 (tryckt)OAI: oai:DiVA.org:kth-91386DiVA, id: diva2:509795
Konferens
10th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2010, Delft, Netherlands, 31 May 2010 through 4 June 2010
Anmärkning

QC 20120321

Tillgänglig från: 2012-03-21 Skapad: 2012-03-14 Senast uppdaterad: 2015-04-22Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Optimization vibr ctrl v7(94 kB)163 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 94 kBChecksumma SHA-512
b6066a3ab524c74fc506d08e31d43946ccb95d7558055e41caab6ff1b3fe3ef363ae204ece836a26edbd042adb529391573baefecca48f9f14ff641fde86296c
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

ScopusConference website

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Carlqvist, PerBrattström, PatrikDuring, Carl
Av organisationen
Mekatronik
Annan maskinteknik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 163 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

isbn
urn-nbn

Altmetricpoäng

isbn
urn-nbn
Totalt: 163 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf